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关于精瓷
广东精瓷新材料有限公司具有多年HTCC研发及生产经验,专注于半导体用陶瓷静电卡盘ESC、氮化铝陶瓷发热体及精密陶瓷真空吸盘的研发制造。
公司具备年产2000套8寸、12寸氧化铝静电卡盘、氮化铝静电卡盘、氮化铝陶瓷发热体,20000套300mm以上尺寸碳化硅、氧化铝真空吸盘的生产能力,并设立有ESC专用测试设备、SEM、三坐标、轮廓仪等多种测试设备的测试中心。
公司产品
静电卡盘
Electrostatic Chuck (ESC)

氮化铝陶瓷发热体
AlN Ceramic Heater

